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微量な金属不純物の存在は電子･半導体関連製品の特性や信頼性を低下させ、外観不良などの歩留まりの悪化につながります。当分析センターは、誘導結合プラズマ発光分析（ICP-OES）、誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS）、原子吸光分析（AAS）、イオンクロマトグラフィー（IC）などにより、製品や材料中の微量の不純物元素量を定量分析して、お客さまの品質管理や開発をサポートします。
下表でマークした71元素は、概算濃度の同時分析が可能です（定性分析、半定量分析）。
各元素について高い定量精度が必要な場合には、標準試料を用いた検量線法で定量分析します。
| 分析内容 | 分析方法 |
|---|---|
| 定量分析 | ICP-MS、ICP-OES、AAS、IC |
| 定性分析・半定量分析 | ICP-OES、蛍光X線分析 |
測定濃度範囲は、測定溶液中の濃度で示しています。サンプル中の測定可能な濃度範囲は、測定条件や前処理条件で変わります。サンプルの内容をお知らせいただければ、サンプル中の濃度として回答しますので、お問い合わせください。
ppm ＝ mg/kg ＝ 100万分の1
蛍光X線分析は固体試料をそのまま測定できますが、ICP-MS、ICP-OESおよびAASの測定では固体試料は溶液にして測定します。当分析センターは、溶液化する前処理に関して豊富な経験とノウハウがあります。どんなサンプルでもご相談ください。
| 前処理 | 関連規格 | |
|---|---|---|
| 湿式分解 |
加圧分解法
マイクロウェーブ分解法 還流冷却湿式分解法 ホットプレート加熱湿式分解法 |
EN 13346 / EPA 3052
EPA Method 3050B |
| 乾式分解 | 乾式灰化法 | ─ |
| 融解 | アルカリ融解法 | ─ |
| 溶出／抽出 |
振とう抽出法
超音波抽出法 |
EN 71-3 / ASTM F963-96a |
・半導体材料関連評価（ウェハー、フォトレジスト、洗浄液などに含有する微量不純物分析）
・ICH Q3D「医薬品の元素不純物ガイドラインについて」に対応した医薬品・原薬の不純物分析
・高純度金属材料中の微量不純物分析
・環境試料（海水、河川水）中の重金属含有量調査
・使用済み製品中のレアメタル含有量測定
・RoHS、REACHなどの規制物質含有量測定
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